目前UV紫外線燈的高端應(yīng)用應(yīng)該數(shù)芯片制造領(lǐng)域了。芯片制造中不得不提的基礎(chǔ)原材料是晶圓，在晶圓上經(jīng)過光刻機光刻電路結(jié)構(gòu)和蝕刻后，再經(jīng)過切割、封裝、測試成為芯片然后被應(yīng)用各類電子產(chǎn)品和汽車工業(yè)中。在晶圓加工過程中還涉及到重要的一環(huán)就是晶圓信息光擦除。今天就由TANK007紫外線燈廠家為大伙介紹UV紫外線燈在晶圓信息擦除中的應(yīng)用。

紫外線燈用于擦除晶圓信息的原理
在晶圓上寫入數(shù)據(jù)時，通常的做法是在柵極兩端加上高電壓并注入電荷。但由于注入柵極的電荷不具備穿透硅氧化膜，因此，必須借用特殊波長的紫外線給予電荷一定的能量來改變其現(xiàn)狀。當(dāng)浮置柵在UV紫外線燈發(fā)出的特定波長紫外線輻射時，由于柵極中的電荷吸收紫外線能量后能夠賦予電荷變成足以穿透硅氧化膜的熱電子并驅(qū)使熱電荷流向基板和柵極從而具備擦除信息功能。在整個擦除過程中，目前只有借助特殊波長的紫外線燈來完成。由此可見晶圓信息擦除中紫外線燈的重要性。

什么波段的紫外線燈、需要多強的紫外線強度才符合晶圓信息擦除？
眾所周知，紫外線波長越短則紫外強度越大，因此要使晶圓柵極中的電子變?yōu)榛钴S的且有足夠能量穿透硅氧化膜的電子就需要短波紫外線輻射。當(dāng)然除了需要能夠輻射出短波紫外線的紫外線燈具外還需要確保紫外線的劑量。晶圓信息擦除所需的精準(zhǔn)紫外線波長為 253.7nm ，紫外強度在16000 μ W /cm²以上并保持 30 分鐘至3小時不等的照射才能完成晶圓信息的擦除操作。